日本三豐CNC三坐(zuò)标測量機LEGEX

實現超高精(jīng)度和高速驅動的日本三豐CNC三坐(zuò)标測量機LEGEX

    随着近年來機床加工(gōng)精(jīng)度的迅速提高，工(gōng)件的測量精(jīng)度也達到了前所未有(yǒu)的新(xīn)高度。為(wèi)滿足測量儀器用(yòng)戶的需求，測量精(jīng)度等級也正在從微米級向亞微米級，甚至納米級發展。

面對這種挑戰，三豐開發出LEGEX系列超高精(jīng)度三坐(zuò)标測量機，并作(zuò)為(wèi)下一代三坐(zuò)标測量機的一種嘗試投放市場。以下将結合LEGEX系列産(chǎn)品的規格和性能(néng)特點，對LEGEX開發過程中(zhōng)使用(yòng)的一些基本技(jì )術進行介紹。

如何實現超高精(jīng)度
   1 基本結構
     為(wèi)确保測量精(jīng)度，采用(yòng)固定橋式•可(kě)移動式工(gōng)作(zuò)台，以最大限度地減少阿貝偏置誤差。同時采用(yòng)FEM分(fēn)析，從而确保實現最佳産(chǎn)品結構。
   2 長(cháng)度測量技(jì )術

     作(zuò)為(wèi)長(cháng)度測量系統的3個基準軸上搭載了最小(xiǎo)分(fēn)辨率0.01μm的新(xīn)開發的線(xiàn)性編碼器系統，和具(jù)有(yǒu)0.01x10-6/oC超低線(xiàn)性膨脹系數的晶體(tǐ)玻璃尺。因為(wèi)晶      體(tǐ)玻璃尺的熱膨脹系數幾乎為(wèi)0，并且相當耐熱，從而确保能(néng)夠實現超高精(jīng)度。在圖2中(zhōng)圖示出其檢測原理(lǐ)。

   3 驅動部
     通過實現“中(zhōng)心驅動”—即将各軸的驅動單元配置在各軸滑架的近似重心的位置上，從而減少了在加速和減速過程中(zhōng)産(chǎn)生的慣性而提高了動态精(jīng)度。
   4 防振技(jì )術
     • 内部振動
     三豐憑借其特有(yǒu)的高剛性低振動空氣軸承，并且有(yǒu)效地對各軸電(diàn)機和導軌這兩個主要内部振動源進行了震動緩沖，成功實現了高精(jīng)度、高穩定性導向。
     • 外部震動
     為(wèi)防止安(ān)裝(zhuāng)場所的地面震動對精(jīng)度産(chǎn)生不利影響，三豐在機器底座的重力中(zhōng)心位置安(ān)裝(zhuāng)了帶有(yǒu)自動調水平功能(néng)的空氣減震彈簧防震台。這種技(jì )術可(kě)有(yǒu)效      消除外部震動，确保實現穩定的精(jīng)度。
   5 測頭技(jì )術
     MTP2000是專為(wèi)超高精(jīng)度測量開發的接觸式觸發測頭。MPP300則可(kě)實現高精(jīng)度掃描測量和高精(jīng)度點測量。

以上簡要介紹了LEGEX系列超高精(jīng)度三坐(zuò)标測量機的主要規格和關鍵技(jì )術。今後，三豐将進一步提高技(jì )術水平，努力開發更多(duō)具(jù)有(yǒu)更高性能(néng)、更多(duō)功能(néng)的産(chǎn)品。